精密平臺：
     CAX系列X-Y精密平臺選用高強度鋁合金，經應力消除處理后再經攝氏196度之超深冷處理，可保證長期使用仍保有良好之精密度。工作臺內部和進給機構裝有5年或20000公里免維護的精密級直線導軌和C3級滾珠絲杠，既保持了原來的性能又實現了長期免維護。實現了穩定的高行走精度、定位精度和大搭載質量，該結構承受力矩及復合負荷較強。采用AC400W伺服馬達，全閉環控制實現了極高精度的定位工作臺。X-Y軸的平臺220mm有效行程專業為8吋晶元設計。
型號表示：
CAX15R220-Y220P10-S1-M
（1）CAX15：CAX平臺底座寬度150mm；
（2）R220：X軸有效行程220mm；
（3）Y220：Y軸有效行程220mm；
（4）10：滾珠絲桿的導程分為5mm和10mm；
（5）S1：SX671型極限開關，S2：SX674型極限開關；
（6）M：AC400W伺服馬達；可客制化。

尊敬的客戶們：
    歡迎您瀏覽本司網站，如果你對此產品感興趣的話，我司還有很多和這個產品有相關性的介紹，還可以撥打本司服務專線了解更多產品的詳細信息，我們將竭盡全力的為您服務。
   您好，本企業堅持以品質立業，以誠信守業，以更堅定的步伐不斷攀登新的高峰，歡迎顧客們放心選購，我公司主要產品還有：磁柵尺、光柵尺、運動控制卡等。